除氧器的基本原理：根據(jù)亨利定律和道爾頓定律，對溶于水中的各種氣體，在一定的壓力，水的溫度越高，溶解度就越低。真空除氧器就是在封閉的容器中，容于液體中的某氣體量于液體接觸的汽相中，該氣體的分壓力成正比。當水面上蒸汽的分壓力增加時，氣體的分壓力將隨之減少；當水沸騰時，水面上的壓力被水蒸汽所飽和，氣體的分壓接近于零，水中所溶解的氣體將全部被析出。水的物理特性表明，在真空下低溫水也能沸騰，真空除氧就是利用這一特性達到除去氣體目的。

真空除氧水可以低位布置，真空泵可采用以蒸汽作動力的蒸汽噴射泵，或以循環(huán)水為工作介質的射水噴射泵。